Scanspiegelvorrichtung

摘要

Es wird bereitgestellt eine Scanspiegelvorrichtung mit einem Mikrosystem-Scanspiegel (2), der um zumindest eine Achse drehbar gelagert ist, und einem Detektionsmodul (3), das eine Lichtquelle (14), die einen Lichtstrahl (13) abgibt, und einen Positionsdetektor (19, 25, 26) aufweist, wobei das Detektionsmodul (3) den Scanspiegel (7) von hinten mit dem Lichtstrahl (13) beaufschlagt, so daß der Lichtstrahl (13) an der Rückseite des Scanspiegels (2) zum Positionsdetektor (19, 25, 26) reflektiert wird, der die Position des reflektierten Lichtstrahles (20) mißt, aus der der Drehwinkel des Scanspiegels (7) um die zumindest eine Achse ableitbar ist.