申请人 |
IHP GMBH - INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS / LEIBNIZ-INSTITUT FUER INNOVATIVE MIKROELEKTRONIK;TECHNISCHE UNIVERSITAET BERLIN |
发明人 |
MEISTER, STEFAN, DR.;AL-SAADI, AWS;EICHLER, HANS JOACHIM, PROF. DR.;FRANKE, BUELENT;ZIMMERMANN, LARS, DR.;TILLACK, BERND, PROF. DR. |