Keramische Transportrolle zur Vakuumbeschichtung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Transportrolle aus keramischem Material zur Anwendung in der Vakuumbeschichtung. Als langgestreckte Rolle eignen sich mehrere von diesen als Rollenbahn beispielsweise für den Transport großflächiger Substrate durch eine Beschichtungsanlage wie das bei der Glasbeschichtung der Fall ist. Die Erfindung macht sich zur Aufgabe, die Porosität der Transportrolle anhand von herstellungsspezifischen Rahmenparametern so vorgebend zu mindern, dass die Desorption bei angestrebt hoher Stabilität der Transportrolle möglichst gering ausfällt. Die Transportrolle aus Keramik in einem durch mehrere dieser Transportrollen gebildeten Transportpfad ist für die Bewegung des beziehungsweise den auf den Transportrollen aufliegenden Substrates vorgesehen und befindet sich in einer mindestens ein Gehäuse umfassenden Anlage zur Vakuumbeschichtung. Die Transportrolle zeichnet sich dadurch aus, dass sie den Ausgangsstoffen nach maßgeblich aus SiO2 gefertigte ist und einen Anteil an Cristobalit (SiO4) enthält, der größer ist als 0% und kleiner als die Obergrenze von 10%. Ein Verfahren gibt die Anleitung zur Herstellung.