摘要 |
Eine integrierte Schaltung enthält einen Prozesssensor, einen Temperatursensor und einen Spannungssensor. Der Prozesssensor ist gestaltet zum Erfassen eines Prozessparameters, der kennzeichnend ist für einen Halbleiterprozess, durch den die integrierte Schaltung gebildet wird, und zum Bereitstellen einer Charakterisierung des Halbleiterprozesses basierend auf dem erfassten Prozessparameter an dem Ausgang des Prozesssensors. Der Temperatursensor ist gestaltet zum Bereitstellen einer Angabe einer Temperatur der integrierten Schaltung an einem Ausr ist gestaltet zum Bereitstellen einer Angabe eines Leistungsversorgungsspannungspegels der integrierten Schaltung an einem Ausgang des Spannungssensors. Der Ausgang des Prozesssensors ist mit mindestens einem von dem Temperatursensor und dem Spannungssensor gekoppelt, um mindestens eine von der Angabe der Temperatur und der Angabe des Leistungsversorgungsspannungspegels zu kompensieren. |