发明名称 | 一种具有温漂补偿的电容湿度传感器 | ||
摘要 | 本实用新型公开一种具有温漂补偿的电容湿度传感器,传感器本体采用表面微机械加工技术在半导体衬底上形成隔离层,以及隔离层上的感湿悬臂和上、下电极。其中感湿悬臂由从下到上叠置的第一湿敏材料层、隔湿层、第二湿敏材料层组成,上电极覆盖第一湿敏材料层的下表面,并与下电极形成敏感电容。当环境湿度变化时,第一湿敏材料层和第二湿敏材料层体积变化不同,即引起感湿悬臂的变形,进而带动上电极的变形,使得上电极于下电极之间的电容改变,利用电容值的变化可表征环境湿度的变化。而当环境温度变化时,感湿悬臂的两层湿敏材料层体积变化相同,即达到了温漂补偿的效果,使得本实用新型具有低温漂的优异性能。 | ||
申请公布号 | CN202433336U | 申请公布日期 | 2012.09.12 |
申请号 | CN201120570163.5 | 申请日期 | 2011.12.31 |
申请人 | 东南大学 | 发明人 | 秦明;周永丽;黄见秋 |
分类号 | G01N27/22(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/22(2006.01)I |
代理机构 | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人 | 王玉梅 |
主权项 | 一种具有温漂补偿的电容湿度传感器,其特征是,包括半导体衬底层、绝缘层、感湿悬臂以及感应电极;其中:绝缘层覆盖于半导体衬底层的上表面;感湿悬臂的一端固定于绝缘层上,另一端位于绝缘层的上方并悬空;感湿悬臂由从下到上依次叠置的第一湿敏材料层、隔湿层和第二湿敏材料层组成;其中第一湿敏材料层与第二湿敏材料层的厚度相同; 感应电极包括上电极和下电极;上电极覆盖感湿悬臂中第一湿敏材料层的下表面,并固定;下电极固定于绝缘层上;且上电极悬空的一端平行于下电极,并位于下电极的上方。 | ||
地址 | 214135 江苏省无锡市新区菱湖大道99# |