高温氨化CVD管式炉

摘要

本实用新型公开了高温氨化CVD管式炉，包括炉体：炉体内安装有石英管，石英管道两端均安装有法兰，炉体一端连接有氨气进气管路，所述石英管两侧法兰和氨气进气管路为抗腐蚀性的铁镍合金制成；石英管内安装有样品盛放器皿，炉体另一端通过管道连接到出气管路套头，所述出气管路套头为抗腐蚀性铁镍合金制作的出气三通管路，其一端通过管道连接到炉体，另两端分别连接到泵出气管路和废气出气管路。制备了样品盛放器皿，所述样品盛放器皿为漏斗的石英器皿，窄口处可以放置盛放ZnGaO材料的小型石英舟。本实用新型通过对石英管两侧法兰和氨气进气管路以及出气管路套头的材料改进，并设置样品盛放器皿，降低了CVD管式炉的抗腐蚀处理费用，提高了氨气的有效利用率。

主权项

高温氨化CVD管式炉，包括炉体，其特征在于：炉体内安装有石英管，石英管道两端均安装有法兰，炉体一端连接有氨气进气管路，所述石英管两侧法兰和氨气进气管路为抗腐蚀性的铁镍合金制成；石英管内安装有样品盛放器皿，炉体另一端通过管道连接到出气管路套头，所述出气管路套头为抗腐蚀性铁镍合金制作的出气三通管路，其一端通过管道连接到炉体，另两端分别连接到泵出气管路和废气出气管路。