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发明名称 MULTI-STAGE DRY PUMP
摘要
申请公布号 EP2221482(A4) 申请公布日期 2012.09.12
申请号 EP20080850687 申请日期 2008.11.12
申请人 ULVAC, INC. 发明人 SUZUKI, TOSHIO;TANAKA, TOMONARI
分类号 F04C18/18;F01C21/02;F04C18/12;F04C23/00;F04C25/02 主分类号 F04C18/18
代理机构 代理人
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