发明名称 |
固态图像拾取装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种固态图像拾取装置,所述固态图像拾取装置包括:被设置在半导体基板中的多个光电转换单元;被设置在光入射的半导体基板的第一主表面侧的第一平坦化层;被设置在第一平坦化层上并包含各对于相应的光电转换单元设置的滤色器的滤色器层;以及被设置在滤色器层上用于减小滤色器之间的高度差的第二平坦化层。在所述固态图像拾取装置中,间隙被设置在与滤色器层中的邻近滤色器之间的边界对应的位置中,间隙延伸到第二平坦化层,并且用于密封间隙的密封层被设置在间隙和第二平坦化层上。 |
申请公布号 |
CN102668080A |
申请公布日期 |
2012.09.12 |
申请号 |
CN201080058403.1 |
申请日期 |
2010.12.20 |
申请人 |
佳能株式会社 |
发明人 |
小林昌弘;板桥政次;札场哲也;小林秀央 |
分类号 |
H01L27/14(2006.01)I;H04N5/369(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/14(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
罗银燕 |
主权项 |
一种固态图像拾取装置,包括:多个光电转换单元,被设置在半导体基板中;第一平坦化层,被设置在光入射的半导体基板的第一主表面侧;滤色器层,被设置在第一平坦化层上并包含滤色器,所述滤色器中的每一个对于相应的光电转换单元被设置;以及第二平坦化层,被设置在滤色器层上,并减小滤色器之间的高度差,其中,间隙被设置在与滤色器层中的邻近滤色器之间的边界对应的位置中,间隙延伸到第二平坦化层,并且用于密封间隙的密封层被设置在间隙和第二平坦化层上。 |
地址 |
日本东京 |