发明名称 |
CVD SiC/SiO<sub>2</sub>梯度抗氧化复合涂层及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种CVD SiC/SiO2梯度抗氧化复合涂层及其制备方法,主要用于石墨、C/C复合材料及易氧化陶瓷基材料(如C/C-陶瓷复合材料、C/陶复合材料、碳化物陶瓷等)的长时间抗氧化保护。涂层采用化学气相沉积(CVD)方法制备,具有良好的可控性和可设计性。涂层由SiC涂层、SiO2涂层及SiC与SiO2共沉积涂层组成。涂层由一种梯度构成,或由多个梯度构成多层复合梯度涂层,即由内至外涂层依次为SiC/SiC-SiO2/SiO2涂层,或依次SiC/SiC-SiO2/SiC~SiO2/SiC-SiO2/SiO2涂层,或依次为SiC/SiC-SiO2/SiO2/SiO2-SiC/SiC/SiC-SiO2/SiO2…SiC/SiC-SiO2/SiO2,或为SiC/SiC-SiO2/SiO2-SiC/SiC-SiO2/…/SiO2-SiC/SiC-SiO2/SiO2,或为SiC/SiC-SiO2/SiC~SiO2/SiO2-SiC/SiC~SiO2/…/SiC~SiO2/SiC-SiO2/SiO2,或仅为SiC~SiO2共沉积涂层。所制备的梯度复合涂层在室温至1700℃都具有良好的长时间抗氧化性能。 |
申请公布号 |
CN102659451A |
申请公布日期 |
2012.09.12 |
申请号 |
CN201210129286.4 |
申请日期 |
2012.04.28 |
申请人 |
中南大学 |
发明人 |
李国栋;梁武;熊翔;张红波;吴敏 |
分类号 |
C04B41/52(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/32(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I |
主分类号 |
C04B41/52(2006.01)I |
代理机构 |
长沙市融智专利事务所 43114 |
代理人 |
邓建辉 |
主权项 |
一种CVD SiC/SiO2梯度抗氧化复合涂层,其特征在于:由采用化学气相沉积方法制备的SiC涂层、SiO2涂层及SiC与SiO2共沉积涂层组成,或仅由采用化学气相沉积方法制备的SiC与SiO2共沉积涂层组成。 |
地址 |
410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号 |