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摘要
申请公布号
JP5024046(B2)
申请公布日期
2012.09.12
申请号
JP20070539739
申请日期
2005.09.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/8246;H01L27/105
主分类号
H01L21/8246
代理机构
代理人
主权项
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