加热控制系统及具备该加热控制系统的成膜装置、以及温度控制方法

摘要

利用多个加热器对被加热物进行加热期间，为了实现不依赖于多个加热器电源特性偏差的加热控制系统，本发明的加热控制系统包括：检测出被加热物温度的热电偶（6M）、温度控制单元（3M）和温度控制单元（3S1）、检测出功率值（Wm）的电流/电压检测单元（5M）和检测出当前功率（PVs1）的电流/电压检测单元（5S1）、以及计算出目标功率（SPs1）的目标功率计算单元（1S1）。温度控制单元（3M）输入目标温度（SPm）和当前温度（PVm），并进行功率控制以使当前温度（PVm）与目标温度（SPm）相一致，目标功率计算单元（1S1）输入功率值（Wm），将功率值（Wm）和规定比率相乘以计算出目标功率（SPs1），温度控制单元（3S1）输入目标功率（SPs1）和当前功率（PVs1），并进行功率控制以使当前功率（PVs1）与目标功率（SPs1）相一致。

主权项

一种加热控制系统，包括：用于对被加热物进行加热的主加热器和子加热器；以及将功率提供给所述主加热器的主加热器电源和将功率提供给所述子加热器的子加热器电源，对主加热器进行温度控制以使被加热物的温度成为目标温度，对子加热器进行功率控制以使提供给主加热器的第一功率和提供给子加热器的第二功率成为规定比率，该加热控制系统的特征在于，包括：对被加热物的温度进行检测的温度检测单元；主加热器用温度控制单元和子加热器用温度控制单元；检测出所述第一功率的主加热器用功率检测单元和检测出所述第二功率的子加热器用功率检测单元；以及计算出所述第二功率的目标值的目标功率计算单元，所述主加热器用温度控制单元输入目标温度的设定值和所述温度检测单元的温度检测值，并控制所述第一功率以使该温度检测值与目标温度的设定值相一致，所述目标功率计算单元输入由所述主加热器用功率检测单元检测出的第一功率检测值，将该第一功率检测值与规定比率相乘以计算出所述第二功率的目标值，所述子加热器用温度控制单元输入所述第二功率的目标值和由子加热器用功率检测单元检测出的第二功率检测值，并控制第二功率以使该第二功率检测值与所述第二功率的目标值相一致。