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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRICALLY INTERCONNECTING HIGH VOLTAGE MODULES POSITIONED IN RELATIVELY CLOSE PROXIMITY
摘要
申请公布号 EP1636877(B1) 申请公布日期 2012.09.12
申请号 EP20040776566 申请日期 2004.06.14
申请人 CYMER, INC. 发明人 SAETHRE, ROBERT, B.;MELCHER, PAUL, C.;FERGUSON, GEORGE, X.
分类号 H01R13/62;H01R13/53 主分类号 H01R13/62
代理机构 代理人
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