发明名称 |
一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置 |
摘要 |
一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置。涉及一种OJ(Open Junction)二极管酸处理后的去离子水震荡冲洗装置。提供了一种同步导入高频震荡,使得二极管产生震动和轴向转动,达到有效冲洗死角的二极管酸处理后的震荡冲洗装置。所述二极管酸处理后设置在酸洗盘上,所述震荡冲洗装置包括底座、冲洗头、水槽和震荡装置,所述酸洗盘设在所述水槽上,所述冲洗头设在所述酸洗盘上方;所述震荡装置设在所述水槽的一侧,所述震荡装置包括振子、支架和弹簧,所述振子设在所述支架上部中间位置。本发明结构简单、制造成本低,振动、冲洗效果明显。 |
申请公布号 |
CN102664157A |
申请公布日期 |
2012.09.12 |
申请号 |
CN201210180785.6 |
申请日期 |
2012.06.04 |
申请人 |
扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
发明人 |
王永彬;王毅 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置,所述二极管酸处理后设置在酸洗盘上,其特征在于,所述震荡冲洗装置包括底座、冲洗头、水槽和震荡装置,所述酸洗盘设在所述水槽上,所述冲洗头设在所述酸洗盘上方;所述震荡装置设在所述水槽的一侧,所述震荡装置包括振子、支架和弹簧,所述振子设在所述支架上部中间位置;所述支架具有支撑板和立板,相互间构成L形;所述支撑板水平地设在所述水槽的内侧、且高于所述水槽顶缘高度;所述酸洗盘的外侧搁置在所述水槽的外侧顶缘、内侧搁置在所述支撑板朝向所述水槽的顶缘上,使得所述酸洗盘倾斜设在所述水槽和支撑板之间;所述弹簧活动设在所述支撑板的下部。 |
地址 |
225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 |