| 发明名称 | 清洗剂组合物及电子设备用基板的清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种清洗剂组合物及电子设备用基板的清洗方法，其能够以高洁净度除去附着在电子设备用基板上的有机物污渍及颗粒污渍，且降低了对环境的负荷。本发明的用于清洗电子设备用基板的清洗剂组合物中包含：含有过渡金属的水溶性盐(A)、螯合剂(B)和过氧化物(C)，且相对于上述含有过渡金属的水溶性盐(A)，上述螯合剂(B)的比例为0.5摩尔当量以上。 | ||
| 申请公布号 | CN101946310B | 申请公布日期 | 2012.09.12 |
| 申请号 | CN200980105412.9 | 申请日期 | 2009.02.13 |
| 申请人 | 狮王株式会社 | 发明人 | 日高真人;小仓卓 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;C11D7/10(2006.01)I;C11D7/26(2006.01)I;C11D7/38(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 侯莉 |
| 主权项 | 一种清洗剂组合物，用于清洗电子设备用基板，其特征是，包含含有过渡金属的水溶性盐(A)、螯合剂(B)和过氧化物(C)，且相对于所述含有过渡金属的水溶性盐(A)，所述螯合剂(B)的比例为0.5摩尔当量以上。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||