非水系光阻剥离剂组成物

摘要

本发明涉及一种非水系光阻剥离剂组成物，其包括(a)5-30重量％的碱性化合物、(b)20-80重量％的酰胺化合物、(c)10-70重量％的极性溶剂，以及(d)0.0-10重量％的烷醇胺盐。本发明提供一种新型的光阻剥离剂组成物，所述光阻剥离剂组成物可以在短时间内、无腐蚀地去除蚀刻残渣和在制造平板显示器用薄膜晶体管过程中变性的光阻，以实现高分辨率平板显示器。

主权项

1.一种非水系光阻剥离剂组成物，其包含：(a)由以下式1表示的碱性化合物；(b)由以下式2表示的酰胺化合物；(c)极性溶剂；及(d)烷醇胺盐；<式1><式2>其中R₁、R₂及R₃各自独立地为氢、经胺基取代或未经胺基取代的C1～10直链或支链烷基、C2～10烯基、C1～10羟烷基、羧基、或经C1～10直链或支链烷基取代或未经C1～10直链或支链烷基取代的C1～10烷氧基，而该C1～10直链或支链烷基经羟基取代或未经羟基取代，以及R₄、R₅及R₆各自独立地为氢、C1～10直链或支链烷基、C2～10烯基、C1～10羟烷基、羧基、经C1～10烷氧基取代的C1～10直链或支链烷基、或是经C1～4烷基取代或未经C1～4烷基取代的胺基，及R₅和R₆能一起形成环。