一种局部压力可控的平面光学元件抛光装置

摘要

一种局部压力可控的平面光学元件抛光装置，涉及一种光学元件抛光装置。设有连接轴、底座、密封筒、磁流变装置盘、磁流变液、橡胶薄膜、嵌入式控制装置以及夹爪；连接轴一端固定在底座上表面，底座下表面设有夹爪固定槽，密封筒固定在底座下表面，磁流变装置盘、磁流变液和橡胶薄膜设在密封筒内，所述区域磁场调节装置固定在磁流变装置盘内，所述磁流变装置盘底面中心设有小孔，所述小孔与底座中心的导线通孔连接，区域磁场调节装置内连接线圈的导线及微型电机动力线穿过小孔和底座上的导线通孔与嵌入式控制装置连接，磁流变装置盘与密封筒底的橡胶薄膜密封一层磁流变液。可实现工件表面面形误差迅速收敛。

主权项

一种局部压力可控的平面光学元件抛光装置，其特征在于设有连接轴、底座、密封筒、磁流变装置盘、磁流变液、橡胶薄膜、嵌入式控制装置以及夹爪；连接轴一端固定在底座上表面，连接轴另一端可与机床抛光旋转轴连接；底座下表面设有4个夹爪固定槽，每个夹爪固定槽上设有用于固定夹爪的螺纹孔；密封筒固定在底座下表面，磁流变装置盘、磁流变液和橡胶薄膜设在密封筒内，区域磁场调节装置固定在磁流变装置盘内；每个区域磁场调节装置设有支座、隔磁套、磁芯对、线圈、丝杆组和微型电机；所述磁流变装置盘底面中心设有小孔，所述小孔与底座中心的导线通孔连接，区域磁场调节装置内连接线圈的导线及微型电机动力线穿过小孔和底座上的导线通孔与嵌入式控制装置连接，磁流变装置盘与密封筒底的橡胶薄膜密封一层磁流变液。