掺杂稀土元素的氮化镓粉体材料的制备方法及装置

摘要

本发明提供一种掺杂稀土元素的氮化镓粉体材料的制备方法，包括步骤：将含有镓元素的原料装入装置的底部至覆盖位于装置底部的磁子；从气流入口处通入氮气或惰性气体吹扫反应室并保持气流；利用炉体升高反应室内的温度至第一温度，启动磁力搅拌器；继续利用炉体升高反应室内的温度至第二温度，切换气流入口处的气体为氨气；继续利用炉体升高反应室内的温度至第三温度，并保持第三温度；关闭磁力搅拌器，并利用炉体快速冷却反应室。本发明还提供一种装置，包括一反应室，反应室包括一位于所述反应室的底部的磁子和一位于反应室底部的外部的磁力搅拌器，磁力搅拌器与磁子位置相对，用于配合磁子搅拌反应室内的原料。

主权项

一种掺杂稀土元素的氮化镓粉体材料的制备方法，其特征在于，包括： 步骤一，将含有镓元素的原料装入反应室的底部，至覆盖位于反应室底部的磁子； 步骤二，通入氮气或惰性气体吹扫反应室并保持气流； 步骤三，升高反应室内的温度至第一温度，启动磁力搅拌器以搅拌原料； 步骤四，继续利升高反应室内的温度至第二温度，切换通入的气体为氨气； 步骤五，继续升高反应室内的温度至第三温度，并保持第三温度； 步骤六，关闭磁力搅拌器，并冷却反应室。