| 发明名称 | 剥除辊、用于从盘形工件上揭下薄膜的设备和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下薄膜(2)的剥除辊(12)，具有用于力配合地揭开或用于推开薄膜(2)的分段(14)的薄膜操纵段(13)。本发明还涉及一种用于从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下薄膜(2)的设备(1)，具有：用于力配合地固紧盘形工件(3)的固紧装置(4)；此类剥除辊(12)；用于使剥除辊(12)相对于固紧装置(4)的表面(10)水平和/或垂直行驶的行驶装置(17)；以及用于使剥除辊(12)围绕剥除辊(12)的中轴(25)旋转的旋转装置(24)。此外，本发明还涉及一种借助于此类设备(1)将薄膜(2)从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102668020A | 申请公布日期 | 2012.09.12 |
| 申请号 | CN201080050687.X | 申请日期 | 2010.09.14 |
| 申请人 | ERS电子有限公司 | 发明人 | 鲁迪格·辛德勒 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 吴敬莲 |
| 主权项 | 一种用于从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下薄膜(2)的剥除辊(12)，具有用于力配合地揭开或用于推开薄膜(2)的分段(14)的薄膜操纵段(13)。 | ||
| 地址 | 德国格尔默岭 | ||