一种镀膜机扩散泵

摘要

本实用新型公开了一种镀膜机扩散泵，其特征在于，在泵壳中设有多根导流管，在导流管上部设有喷油嘴，在泵壳的外侧壁上设有多个水冷套，在泵壳的底部设有电磁加热器，冷却水进口和冷却水出口分别设在泵壳的上部和下部。通过以上设置，本实用新型大大提高了工作效率，平均每台镀膜机扩散系统每小时节约电能3千瓦时。

主权项

一种镀膜机扩散泵，其特征在于：在泵壳中设有多根导流管，在导流管上部设有喷油嘴，在泵壳的外侧壁上设有多个水冷套，在泵壳的底部设有电磁加热器，冷却水进口和冷却水出口分别设在泵壳的上部和下部。