带凸点圆片键合的夹具

摘要

一种带凸点圆片键合的夹具，夹具圆片上带有可容纳键合圆片凸点的沟槽，夹具圆片的材料为硅片或者金属圆片，通过刻蚀、腐蚀或者机械加工的方法制作夹具圆片上的沟槽，夹具圆片上制作有对准用的标记。键合圆片上的凸点嵌入夹具圆片的沟槽中，并将键合圆片固定在键合夹具上经热压键合或阳极键合。本实用新型的优点是该带凸点的圆片键合的夹具避免了圆片上凸点在键合时受到挤压产生的应力集中，有效避免带凸点圆片键合时的易发生的圆片破裂的问题，提高圆片键合的成品率，简单易行，成本低廉。

主权项

一种带凸点圆片键合的夹具，其特征在于夹具圆片上带有可容纳键合圆片凸点的沟槽，夹具圆片上设有夹具圆片的沟槽，夹具圆片上设有对准用的标记。