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发明名称 Method of forming a film
摘要
申请公布号 EP2341163(B1) 申请公布日期 2012.09.12
申请号 EP20110163387 申请日期 2003.02.14
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 UMEMIYA, SHIGEYOSHI;MARUYAMA, KENJI
分类号 C23C16/455;C23C16/54;H01L21/205 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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