| 发明名称 | 硅倍半氧烷树脂的稳定化 | ||
| 摘要 | 公开了用亲水抑制剂稳定的、含有自由基可固化的官能团的硅倍半氧烷树脂组合物。具有清除自由基的能力的亲水抑制剂如抗坏血酸或水杨酸被用于稳定该树脂。该树脂在半导体形成中是有用的，例如用于抗反射涂层、硬掩模或光致抗蚀剂层。 | ||
| 申请公布号 | CN102666731A | 申请公布日期 | 2012.09.12 |
| 申请号 | CN201080053018.8 | 申请日期 | 2010.12.02 |
| 申请人 | 道康宁公司 | 发明人 | 安德鲁·麦克米兰;E·S·梅尔;迈克尔·罗伯特·雷特;竹内香须美;S·王;C·耶克尔 |
| 分类号 | C08L83/06(2006.01)I;C08L83/04(2006.01)I;C08K5/1535(2006.01)I;C08K5/1539(2006.01)I;C08K5/13(2006.01)I;C08K5/00(2006.01)I;C08G77/20(2006.01)I;C08G77/14(2006.01)I | 主分类号 | C08L83/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人 | 武晶晶;郑霞 |
| 主权项 | 一种稳定的硅倍半氧烷树脂组合物，包括(I)硅倍半氧烷树脂，其包括：(a)(RSiO(3‑x)/2(OR’)x)m单元其中R是选自包含例如甲基丙烯酰氧基丙基、丙烯酰氧基丙基的丙烯酰氧基官能团、或苯乙烯官能团的基团的活性有机基团，R’是氢原子或具有1至4个碳原子的烃基；和(b)任选地以下单元的一个或任何组合(R1SiO(3‑x)/2(OR’)x)n(R2SiO(3‑x)/2(OR’)x)o(Ph(CH2)sSiO(3‑x)/2(OR’)x)p(R3R4SiO)q(SiO(4‑x)/2(OR’)x)r其中R1是具有1‑4个碳的脂族基，例如甲基、乙基、乙烯基；R2是亲水基；R3和R4是独立地选自甲基或苯基的基团，R’是氢原子或具有1至4个碳原子的烃基，Ph表示苯基；s具有0、1、2、3或4的值；x具有0、1或2的值；并且在所述树脂中，m具有0.025至1的值；n具有0至0.95的值；o具有0.0至0.20的值；p具有0.0至0.75的值；q具有0至0.75的值；且m+n+o+p+q+r＝1，和(II)亲水抑制剂，其包括强氢键键合基团(III)极性有机溶剂，和(IV)任选地热自由基引发剂或光自由基引发剂。 | ||
| 地址 | 美国密歇根州 | ||