一种热调节300mm化学机械抛光用的抛光头

摘要

一种热调节300mm化学机械抛光用的抛光头，它包括：由传动部件带动的陶瓷盘，固定在陶瓷盘背面的多个加热模块，及温控器，加热模块通过温度传感器接温控器的输入端，温控器的输出端接加热模块电源。本实用新型的优点是：通过调节抛光头不同区域的表面温度来改变抛光头区域温差，提高化学腐蚀的速度，配合抛光液在抛光过程中的特性，能改善加工产品的均一性及表面粗糙度。

主权项

一种热调节300mm化学机械抛光用的抛光头，其特征在于：它包括：由传动部件带动的陶瓷盘，固定在陶瓷盘背面的多个加热模块，及温控器，加热模块通过温度传感器接温控器的输入端，温控器的输出端接加热模块电源。