具节能功能的冷却装置

摘要

本实用新型涉及一种具节能功能的冷却装置，包括有一热交换单元、一温控器以及一冷源体供应单元，热交换单元具有至少一个热交换装置，而使制程机台降温的工作流体由制程机台经第一流路流向热交换单元、经第二流路流向温控器，再经由第三流路流向制程机台而形成一回路，冷源体供应单元则将冷源体经由第四流路流入热交换装置中，并于热交换装置中进行工作流体与冷源体的热平衡；藉此，利用冷源体于热交换装置中对工作流体进行降温，以达到节省电力，符合节能、减碳的功效。

主权项

一种具节能功能的冷却装置，其特征在于，该冷却装置包括：一热交换单元，具有至少一热交换装置，一用于制程机台降温的工作流体由该制程机台经由第一流路流向该热交换单元，经过该热交换装置的热平衡后经由第二流路流向温控器；该温控器，流入该温控器的该工作流体经由第三流路流向该制程机台，该第一流路、该第二流路以及该第三流路形成一回路；以及一能够供应冷源体的冷源体供应单元，该冷源体经由第四流路流入该热交换单元，该工作流体与该冷源体经过该热交换装置的热平衡后，该冷源体经由第五流路流入该冷源体供应单元，该第四流路以及该第五流路形成一回路。