一种利用抛物面反射镜测量透射式光栅衍射效率的装置

摘要

本实用新型涉及一种利用抛物面反射镜测量透射式光栅衍射效率的装置，将抛物面反射镜引入到测量系统。抛物面反射镜的特点是将从焦点发出的所有光经抛物面反射镜反射，反射光束都沿平行于光轴方向，经垂直于反射镜光轴的凸透镜汇聚于凸透镜后焦平面焦点位置，探测器的探头固定在凸透镜后焦平面焦点位置。这样照明光波以任意角度入射到光栅上的光都可以被探测器探头接收。本实用新型在大角度范围内实时的接受衍射光能量，对衍射光能量进行全程探测，节省了系统空间，缩小体积和减轻其重量，同时实现了衍射效率的实时定点测量。此外，只需整体调整抛物面反射镜、光栅入射点及探测器探头位置，即可适用于不同探测角度范围需求，具有很高的通用性。

主权项

一种利用抛物面反射镜测量透射式光栅衍射效率的装置，其特征在于包括激光器(1)、光束分束器(2)、扩束准直镜(10)，椭球反射镜(6)、第二光功率探测器(7)和第一光功率探测器(8)；在激光器(1)的激光光路上设置光束分束器(2)，光束分束器(2)将激光器(1)发出的光束分为光强比为1∶1的第一光束和第二光束；在第二光束的光路中设置第二光功率探测器(7)测得第二光束的光强；在第一光束的光路中设置扩束准直镜(10)，将其准直为直径小于1mm的平行光束，被测透射式光栅(5)设置在准直光束的光路上，抛物面反射镜(6)设置在被测透射式光栅衍射光束的光路上；其中准直平行光束在被测透射式光栅上的入射点为抛物面反射镜的焦点，在抛物面反射镜的反射光路上，与光轴垂直方向设置一凸透镜(9)，在凸透镜(9)后焦平面焦点位置设置第一光功率探测器(8)，测量抛物面反射镜的反射光强度；用第一光功率探测器(8)测量得到的光强数值除以第二光功率探测器(7)测量得到的光强的两倍，得到被测光栅的衍射效率。