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发明名称 FORE-LINE PRECONDITIONING FOR VACUUM PUMPS
摘要
申请公布号 EP1817500(A4) 申请公布日期 2012.09.12
申请号 EP20050852187 申请日期 2005.11.23
申请人 EDWARDS VACUUM, INC. 发明人 BAILEY, CHRISTOPHER, M.;BOGER, MICHAEL, S.
分类号 F04B37/16;F04D19/04;C23C16/44;F04D19/00;F04D25/00;F04D25/16;F04D27/00;H01L21/02;H01L21/67 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
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