正型感光性树脂组合物、由该组合物形成的固化膜及具有固化膜的元件

摘要

本发明的正型感光性树脂组合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、(c)溶剂的正型感光性组合物，(a)聚硅氧烷中的来源于通式(1)所示的有机硅烷的结构的含有比率，以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计，为20%～80%，并且包含来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构。通过本发明的正型感光性组合物，可以提供具有高耐热性、高透明性的特性，并且能够以高灵敏度形成高分辨率的图案的正型感光性组合物。此外，可以用于由本发明的正型感光性组合物形成的TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、芯材、包层材等的固化膜、以及具有该固化膜的显示元件、半导体元件、固体摄像元件、光波导等的元件。

主权项

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、和(c)溶剂的正型感光性组合物，(a)聚硅氧烷中的来源于通式(1)所示的有机硅烷的结构的含有比率，以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计，为20%～80%，并且(a)聚硅氧烷中包含来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构，式中，R¹表示碳原子数6～15的芳基，多个R¹可以分别相同也可以不同；R²表示氢、碳原子数1～6的烷基、碳原子数2～6的酰基、碳原子数6～15的芳基中的任一种，多个R²可以分别相同也可以不同；n表示1～3的整数；式中，R³～R⁶分别独立地表示氢、碳原子数1～6的烷基、碳原子数2～6的酰基、碳原子数6～15的芳基中的任一种；m表示1～11的整数。