Method for depositing of barrier layers on a plastic substrate as well as coating device therefor and a layer system,申请号EP20080155403-传众专利搜索

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发明名称	Method for depositing of barrier layers on a plastic substrate as well as coating device therefor and a layer system
摘要
申请公布号	EP2161350(B1)	申请公布日期	2012.09.12
申请号	EP20080155403	申请日期	2008.04.29
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.;BIOFILM S.A.	发明人	HOFFMANN, GERD;QUICENO, ALEXANDRA L.
分类号	C23C14/08;C23C14/56	主分类号	C23C14/08
代理机构		代理人
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