雷射绝缘处理装置

摘要

一种雷射绝缘处理装置包含雷射装置及平台装置。平台装置包含平台本体、容置平板及侦测装置。容置平板设置于平台本体之空腔的上方用以置放基板于容置平板之上表面。容置平板具有数个吸附孔。容置平板形成第一吸附区与第二吸附区，其中第一吸附区的吸附孔的数量密度大于第二吸附区的吸附孔的数量密度。容置平板之边缘系大致上顺应空腔之边缘，容置平板与平台本体之间形成数个穿孔。数个侦测装置分别设置于穿孔的下方。