基板支撑单元以及使用该支撑单元的基板处理装置与方法

摘要

本发明提供一种基板支撑单元和使用该基板支撑单元的基板处理装置和方法。该基板支撑单元包括第一支撑部件和第二支撑部件。该第一支撑部件可在第一方向移动。该第一支撑部件支撑基板的一部份，其中在对应于第一方向的方向供应一种加工流体。第二支撑部件可在第二方向移动。第二支撑部件支撑该基板的第二部份。在供应该加工流体时该第一支撑部件和该第二支撑部件中的至少一者支撑该基板。