承载盘中晶粒表面检测系统及其承载盘进／出料装置与方法

摘要

本发明之承载盘进/出料装置包含升降导柱、承托装置、线性移动装置与同步啮合装置。垂直设立之升降导柱间形成一承载盘堆叠之容置空间，而承托装置之承托盘位在该容置空间底部中心位置。线性移动装置使升降导柱得以调整其与承托盘间之距离，而同步啮合装置使升降导柱间之移动得以等距同步。操作者只需移动其中一升降导柱，升降导柱便会同时移动，且其间之中心位置仍保持在同一地方，使得承托盘之位置无须因升降导柱之调整而调整。