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发明名称
具有可调式举升与旋转底座的基板支撑件
摘要
本发明提供一种用以在处理室中定位基板支撑件之方法及装置。在一实施例中,一种用以定位基板支撑件之装置包括:一第一部件,系设置以装载至一处理室之一底部;以及一第二部件,系设置以支撑一基板支撑件。第一部件系可释放地耦接至第二部件。第二部件包括一下外罩,其系耦接至一下轴环。下轴环系可相对于第一部件而横向定位。下外罩具有一平面定向,其系可相对于下轴环之一平面定向而调整。
申请公布号
TWI372442
申请公布日期
2012.09.11
申请号
TW096126235
申请日期
2007.07.18
申请人
应用材料股份有限公司 美国
发明人
肯贝尔杰佛瑞;伯洛斯布莱恩H
分类号
H01L21/683;C23C16/54
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址
美国
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