发明名称 具有可调式举升与旋转底座的基板支撑件
摘要 本发明提供一种用以在处理室中定位基板支撑件之方法及装置。在一实施例中,一种用以定位基板支撑件之装置包括:一第一部件,系设置以装载至一处理室之一底部;以及一第二部件,系设置以支撑一基板支撑件。第一部件系可释放地耦接至第二部件。第二部件包括一下外罩,其系耦接至一下轴环。下轴环系可相对于第一部件而横向定位。下外罩具有一平面定向,其系可相对于下轴环之一平面定向而调整。
申请公布号 TWI372442 申请公布日期 2012.09.11
申请号 TW096126235 申请日期 2007.07.18
申请人 应用材料股份有限公司 美国 发明人 肯贝尔杰佛瑞;伯洛斯布莱恩H
分类号 H01L21/683;C23C16/54 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 美国