针测卡

摘要

一种针测卡用于测试一晶圆，针测卡包含一电路板，用于传送测试讯号；一固定部，固设于该电路板下方；及复数个探针穿过固定部，每一探针的一端电性连接电路板的电路、另一端具有一针头电性连接晶圆上的一接触垫；其中，每一探针在针头与固定部之间包含至少一弯曲部分，以吸收探针与接触垫之间的应力。