搬运臂之移动位置的调整方法及位置检测用治具

摘要

本发明的课题是使用可搬入薄型装置的位置检测用治具，以高精度廉价进行搬运臂的位置调整。;其解决手段是将具有静电电容感测器(150)的位置检测用晶圆S支撑在搬运臂上，藉着该搬运臂搬运位置检测用晶圆S，载放在载放部A上。随后，藉着位置检测用晶圆S的静电电容感测器(150)，检测载放部A的中心孔位置，检测出载放部A之位置检测用晶圆S的载放位置。之后，根据位置检测用晶圆S的载放位置，调整晶圆搬运时的搬运臂之移动位置。