用于光罩电浆蚀刻之方法及设备

摘要

在此提供一种用于光罩蚀刻的离子－自由基屏蔽件。在一实施例中，离子－自由基屏蔽件包括一平坦的石英碟盘，其具有延伸穿过该碟盘之复数个孔。离子－自由基屏蔽件也包括三个螺纹化孔，该些螺纹化孔形成于离子－自由基屏蔽件之内，且被建构以嵌合用来支撑离子－自由基屏蔽件于一基材支撑座上方之多个脚。