表面形状之检测方法及检测装置

摘要

本发明提供一种以廉价之装置构成去除背面反射影像之影响，可以高准确度检测表面形状之特性的检测方法与检测装置。首先，决定具有明暗图案之条带图案(Stripe pattern)1做为适合于透明板状体(被检查物体)3之条带图案，该明暗图案为，使透明板状体表面之反射影像与透明板状体背面之反射影像，于摄像而得之影像信号之中呈分离状而被设定者。然后，利用被决定之条带图案1，藉由影像解析，仅利用条带图案1之透明板状体3之表面之反射影像评估透明板状体3之表面形状。