发明名称 |
双选择性顺应组件机械手臂叶片(SCARA)之机械手臂连接装置的伸出距离之延伸方法及设备 |
摘要 |
本发明提供使用双选择性顺应组件机械手臂叶片(Selective Compliant Assembly Robot Arm; SCARA)之机械手臂的方法及设备。在某些实施例中,提供二SCARA,每一SCARA包括一肘管接头,其中该二SCARA为垂直堆叠,故一SCARA为一第一臂而另一SCARA为一第二臂,及其中该第二臂适于支撑一第一基材,及当该第二臂支撑该第一基材时该第一臂为适于延伸至一全长,及其中由该第二臂支撑之该第一基材为与该第一臂之肘管接头共平面,及该第二臂更适于与第一臂同时并行(及/或在一协调模式)移动一足够量以避免在该第一基材及第一臂之肘管接头间之干扰。本发明提供多个其他实施例。 |
申请公布号 |
TWI372104 |
申请公布日期 |
2012.09.11 |
申请号 |
TW097120225 |
申请日期 |
2008.05.30 |
申请人 |
应用材料股份有限公司 美国 |
发明人 |
卡克斯戴蒙凯斯;佛里曼马文L;雪勒杰森M;休根思杰佛瑞C;布罗戴恩杰佛瑞A |
分类号 |
B25J18/02;B25J3/00;B65G49/07 |
主分类号 |
B25J18/02 |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |