供探针测试器用之地图资料之产生设备及方法

摘要

于供一探针测试器用之地图资料之产生设备与方法中，此设备包含：一资料产生模组，用以使用包含一样品晶圆之各种特征之一晶圆资讯档案来产生晶圆之原始资料；一误差侦测模组，用以检验在晶圆上之晶片之第一座标与在对应于晶片之原始资料中之一地图晶片之第二座标之间之一地图误差；一校准模组，用以计算一校正量来补偿在晶片之第一座标与地图晶片之第二座标之间之地图误差；以及一座标校正模组，用以依据校正量来校正在原始资料中之地图晶片之座标。因此，可根据相关于晶圆之原始资料产生精确的地图资料，而不用额外手动操作。