| 摘要 |
1. Микроволновый плазматрон, характеризующийся тем, что содержит источник микроволнового излучения, прямоугольный резонатор, коаксиальный тракт транспортировки излучения, выполненный виде коаксиального тройника, одно из плеч которого является коаксиальным резонатором, причем длина внешнего электрода коаксиального резонатора превышает длину внутреннего электрода, а внутренний электрод выполняет функцию газоподводящей трубки. ! 2. Микроволновый плазматрон по п.1, характеризующийся тем, что дополнительно содержит рабочую камеру, подсоединенную к коаксиальному резонатору. ! 3. Микроволновый плазматрон по п.1 или 2, характеризующийся тем, что часть внешнего электрода, выступающая за пределы внутреннего электрода, выполнена в виде цилиндрической насадки из сетки с величиной ячейки 1-2 мм. ! 4. Микроволновый плазматрон по п.1 или 2, характеризующийся тем, что размеры плеч тройника подобраны из расчета наилучшего согласования коаксиального и прямоугольного резонаторов. |
