DEFECT INSPECTION METHOD AND DEVICE THEREOF,申请号KR20127017486-传众专利搜索

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发明名称	DEFECT INSPECTION METHOD AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号	KR20120099481(A)	申请公布日期	2012.09.10
申请号	KR20127017486	申请日期	2011.02.04
申请人	HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION	发明人	SAKAI KAORU;MAEDA SHUNJI
分类号	G01N21/956;H01L21/66	主分类号	G01N21/956
代理机构		代理人
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