METHOD FOR THE PLASMA TREATMENT OF WORKPIECES AND WORKPIECE COMPRISING A GAS BARRIER LAYER

摘要

Das Verfahren dient zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt. Die Plasmakammer ist von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt. Durch die Plasmabehandlung wird eine Beschichtung auf dem Werkstück abgeschieden. Die Zündung des Plasmas erfolgt durch Mikrowellenenergie. Die Beschichtung besteht mindestens aus einer Gasbarriereschicht sowie einer Schutzschicht. Die Gasbarriereschicht enthält SiOx und die Schutzschicht Kohlenstoff. Die Schutzschicht wird aus einem Gas erzeugt, das mindestens eine Siliziumverbindung sowie Argon enthält.