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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SURFACE TREATMENT USING A MIXTURE OF ACID AND OXIDIZING GAS
摘要
申请公布号 KR20120099245(A) 申请公布日期 2012.09.07
申请号 KR20127013886 申请日期 2010.11.05
申请人 LAM RESEARCH AG 发明人 KUMNIG ROBERT;SELLMER REINHARD
分类号 H01L21/302;H01L21/027 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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