| 摘要 |
<p>L'invention concerne des substrats pourvus de revêtements portant des revêtements à haute résistance à l'usure. Les revêtements (22) comprennent au moins une couche constituée soit d'oxycarbonitrure de titane, soit doxycarbonitrure de titane et d'aluminium, de telle sorte que le rapport du pourcentage atomique d'oxygène sur le pourcentage atomique de titane de la couche soit d'environ 0,01 à environ 0,09 et que le rapport du pourcentage atomique d'aluminium sur le pourcentage atomique de titane de la couche soit d'environ 0 à environ 0,1. Le rapport de la dureté sur le module d' Young des revêtements est d'au moins 0,06. Le substrat (24) peut être une plaquette de coupe. L'invention concerne aussi des procédés de fabrication de tels substrats pourvus de revêtements, dans lesquels des couches comprenant de l'oxycarbonitrure de titane ou de l'oxycarbonitrure de titane et d'aluminium sont déposées par dépôt chimique en phase vapeur à moyenne température (DCV à moyenne température) sur des substrats à une température d'environ 750 °C à environ 950 °C en utilisant un mélange de gaz dans lequel le rapport de l'hydrogène gazeux sur l'azote gazeux est supérieur à 5.</p> |
