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Verfahren zum Bestrahlen eines Targets mittels eines Strahls energiereicher Strahlung, der aus elektrisch geladenen Teilchen gebildet ist, mit den Schritten: – Bereitstellen eines Musterdefinitionsmittels (102) mit einer Vielzahl von für die Strahlung transparenten Aperturen, – Beleuchten des Musterdefinitionsmittels mithilfe eines breiten Beleuchtungsstrahls (1b), der das Musterdefinitionsmittel durch die Aperturen durchsetzt und so einen strukturierten Strahl (pb) bildet, der aus einer entsprechenden Vielzahl von Teilstrahlen besteht, – Formen des strukturierten Strahls in ein Musterbild (43) am Ort des Targets (14, 41), wobei das Musterbild die Bilder zumindest eines Teils der Vielzahl von Aperturen umfasst, die auf eine entsprechende Anzahl von Bildelementen (p1, px) auf dem Target abgebildet werden, – Erzeugen einer Relativbewegung zwischen dem Target und dem Musterdefinitionsmittel, wodurch sich eine Bewegung des Musterbildes auf dem Target entlang eines Weges über ein Gebiet ergibt, in welchem eine Belichtung mit dem Strahl durchzuführen ist, was eine Anzahl von...
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