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Es wird eine Verbindungsstruktur bereitgestellt, welche mindestens ein strukturiertes und gehärtetes Low-k-Material (18', 22') umfasst, das auf einer Fläche einer strukturierten Gradienten-Deckschicht (14) angeordnet ist. Das mindestens eine gehärtete und strukturierte Low-k-Material und die strukturierte Gradienten-Deckschicht weisen jeweils darin eingebettete leitfähig gefüllte Bereiche (26) auf. Bei dem strukturierten und gehärteten Low-k-Material handelt es sich um ein gehärtetes Produkt eines funktionalisierten Polymers, Copolymers oder Gemisches, welches mindestens zwei einer beliebigen Kombination von Polymeren und/oder Copolymeren mit einer oder mehreren säureempfindlichen abbildbaren Gruppen umfasst, und die Gradienten-Deckschicht einen unteren Bereich, der als Barrierebereich fungiert, und einen oberen Bereich umfasst, welcher Antireflexeigenschaften einer permanenten Antireflexbeschichtung aufweist.
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