镀膜基板及镀膜设备

摘要

本实用新型属于显示技术领域，特别是涉及便于基板边缘识别的镀膜基板及镀膜设备。本实用新型镀膜设备包括靶材和基板夹具位于靶材的下方，基板夹具包括上夹板和下托板；上夹板和下托板之间有压力调节装置，用于调节上夹板和下托板夹紧基板的压力。通过调节上夹板与基板之间的压力，使所镀膜层边缘截面呈斜坡形，斜坡的长度大于800μm。降低了膜层边缘的厚度梯度，使透过膜层边缘的光亮度梯度发生显著变化，区别于基板边缘透过的光亮度梯度，进而提高了基板边缘识别率。

主权项

一种镀膜基板，在基板上覆盖有膜层，其特征在于，所述膜层的边缘截面呈斜坡形，斜坡的长度大于800μm。