| 发明名称 | 用作栅电极的过渡金属合金和包括这些合金的器件 | ||
| 摘要 | 本发明公开了过渡金属合金的实施例，这种合金的n型或p型功函数在高温下不会明显变化。所公开的过渡金属合金可用作晶体管的栅电极，或者形成为晶体管栅电极的一部分。本发明也公开了形成使用这些过渡金属合金的栅电极的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1598026B | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN200410058466.3 | 申请日期 | 2004.08.16 |
| 申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | 马克·多齐;内森·巴克斯特;罗伯特·S·周;卡里·海尔克宁;泰穆·朗 |
| 分类号 | C22C29/06(2006.01)I;H01L21/24(2006.01)I;H01L21/40(2006.01)I | 主分类号 | C22C29/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 王英 |
| 主权项 | 一种合金，包括：20‑37原子百分率的过渡金属，所述过渡金属选自钛、锆、钽和铪；30‑60原子百分率的碳；和至多20原子百分率的铝；其中所述合金的功函数在3.8eV‑4.4eV的范围内，并且其中所述过渡金属、碳和铝总共至少95原子百分率。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||