发明名称 Continuous supply assembly of thermal evaporation source for OLED device deposition
摘要
申请公布号 KR101179872(B1) 申请公布日期 2012.09.05
申请号 KR20110002119 申请日期 2011.01.10
申请人 发明人
分类号 H01L51/56;C23C14/24 主分类号 H01L51/56
代理机构 代理人
主权项
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