一种射频电源电极引入真空腔体的装置

摘要

本实用新型涉及一种射频电源电极引入真空腔体的装置，广泛应用于太阳能电池、液晶显示器，属于电学领域。目的为大面积薄膜沉积，提供一种用分体式电极连接装置进入真空腔体内，替代传统的一体式射频电极。技术特征是电极由两个分离的内部电极和外部电极构成，阳极与真空腔体密封接地。外部阴极内的导电螺杆贯通绝缘片至内部阴极，并与内部阴极连接，内部阴极头部接阴极靶板。本实用新型的有益效果，提高了功率稳定性和大面积薄膜沉积速率。减少了零部件损耗，使电极体的阴极使用寿命延长。

主权项

一种射频电源电极引入真空腔体的装置，包括射频功率电源，匹配器，电极及真空腔体，其特征在于电极接入真空腔体为真空电极，该电极是由分离的内外两个屏蔽、密封部件构成，外部件和内部件分别由外部阳极和外部阴极、内部阳极和内部阴极构成；阳极部件由外部阳极和内部阳极两个部件构成，且安装在真空腔体外壁接地；阴极部件由外阴极和内阴极两个部件构成，内部阴极头部接阴极靶板，外部阴极内的导电螺杆贯通绝缘片至内部阴极，并与真空腔体内阴极靶板连接。