| 发明名称 | 一种边缘设有直流电极的静电吸盘 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种边缘设有直流电极的静电吸盘，在静电吸盘的中心设置有平板直流电极，包含环形直流电极，所述的环形直流电极设置在静电吸盘的边缘。本实用新型能够保证静电吸盘的吸力不随晶片表面的变化而减弱，可补偿静电吸盘边缘对晶片的吸力的损耗，从而能够保证氦气不泄漏，确保静电吸盘的有效性，增加静电吸盘的寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN202423248U | 申请公布日期 | 2012.09.05 |
| 申请号 | CN201120544025.X | 申请日期 | 2011.12.23 |
| 申请人 | 中微半导体设备（上海）有限公司 | 发明人 | 黄智林;吴狄 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人 | 张静洁;徐雯琼 |
| 主权项 | 一种边缘设有直流电极的静电吸盘，在静电吸盘的中心设置有平板直流电极（1），其特征在于，包含环形直流电极（2），所述的环形直流电极（2）设置在静电吸盘的边缘。 | ||
| 地址 | 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 | ||